职责描述:
1.公司新项目光刻制程开发,问题解决及改进,以利项目顺利导入;
2.通过DOE实验设计进行光刻工序工艺能力的提升及探索;
3.光刻工序单站良率的提升;
4.光刻站各工序特性指标监控,以确保工序稳定;